硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理

• 作者: 樊尚春 邢维巍
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式传感器 微机电系统 闭环系统 组合敏感原理
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器理论及工艺
• 页码范围: 20-21,24
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1538字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.007

摘要

为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理.利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制;可及时判断闭环系统失效;可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能.辅助传感器的制造工艺与主传感器兼容,附加成本低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	161	841	15.0	21.0
2	邢维巍	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	48	176	7.0	11.0