衬底效应对LiTaO3薄膜制备的影响

• 作者: 但迪迪 张德银 李金华 董政 黄大贵
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: LiTaO3 择优晶向 溶胶凝胶 衬底效应 薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 660-662,669
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 1944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2007.04.002

摘要

用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜厚度超过0.2 μm,Ni衬底的XRD峰值强度几乎不再出现,说明衬底对薄膜初始结晶取向有重要影响;利用不同衬底上生长钽酸锂薄膜,XRD研究结果表明:N型硅、P型硅、石英衬底上只能制备多晶钽酸锂薄膜,铂衬底上制备的钽酸锂薄膜在(012)晶向有强大的择优取向性,镍衬底上制备的钽酸锂薄膜有更好的C轴择优取向性,C轴择优取向系数可达0.082.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄大贵	电子科技大学机械电子工程学院	84	695	15.0	20.0
2	李金华	江苏工业学院信息科学系	33	277	9.0	15.0
3	董政	电子科技大学机械电子工程学院	10	82	6.0	9.0
4	但迪迪	江苏工业学院信息科学系	4	38	3.0	4.0