ITO衬底上LiTaO3薄膜的制备与介电特性

• 作者: 但迪迪 张德银 李坤 李金华 董政 黄大贵
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钽酸锂薄膜 ITO衬底 退火条件 介电特性
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 170-173
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2007.03.003

摘要

用溶胶凝胶法在ITO衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的晶向、表面形态等作了表征;研究了不同溶剂对LiTaO3溶胶稳定性的影响和不同退火条件对LiTaO3薄膜结晶的影响;利用Al/LiTaO3/ITO结构,测试了薄膜的介电系数和介电损耗.结果表明:每层薄膜都晶化退火比交替使用焦化、结晶退火能生长出质量更好的LiTaO3薄膜;频率1KHz时,介电损耗约0.4,相对介电系数约53.并讨论了介电损耗增大的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄大贵	电子科技大学机电工程学院	84	695	15.0	20.0
2	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
3	董政	电子科技大学机电工程学院	10	82	6.0	9.0
4	但迪迪	江苏工业学院功能材料实验室	4	38	3.0	4.0
5	李坤	江苏工业学院功能材料实验室	11	121	5.0	11.0