不同下电极对Sol-Gel LiTaO3薄膜性能的影响

• 作者: 但迪迪 张德银 李坤 李金华 谢太斌
• 来源期刊: 江苏工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 钽酸锂 电极 Sol-Gel
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TM304.9
• 字数: 3572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2008.01.002

摘要

用醇盐制备了钽酸锂(LiTaO3)溶胶,分别在Pt、ITO、TiN衬底上旋转涂胶成膜.经快速热退火后,用X射线衍射(XRD)测试了膜的结晶取向,用PLC-100铁电材料分析仪测试膜的铁电特性,用TH2818测试薄膜的介电常数及损耗.结果表明,3种衬底上制备出的薄膜在650℃均可达到充分结晶,薄膜的相对介电常数约160;在10 V时,Pt、ITO、TiN下电极上的剩余极化强度分别为8.42,5.21和5.76μC/cm2;在5V时的漏电分别为2.71×10-7,9.24×10-7和2.19×10-7A/cm2;介电损耗分别为0.02,0.18和0.31.讨论了衬底对薄膜性能影响的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
2	但迪迪	江苏工业学院功能材料实验室	4	38	3.0	4.0
3	张德银	江苏工业学院功能材料实验室	1	2	1.0	1.0
7	李坤	江苏工业学院功能材料实验室	11	121	5.0	11.0
8	谢太斌	江苏工业学院功能材料实验室	2	18	2.0	2.0