Sol-gel 法制备SrTiO3薄膜的电阻开关性能研究

• 作者: 张伟风 张婷 张盈 王继鹏 苏朝辉
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻开关 交流阻抗谱 肖特基发射 空间电荷限制电流 电子陷阱
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试测
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TB61+92
• 字数: 3485字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.12.021

摘要

采用sol-gel法制作了28 nm厚的SrTiO3薄膜和Au/SrTiO3/LaNiO3/Si(100)三明治结构的器件,并研究其物理性能.结果显示:室温下,用直流电压可以使薄膜的电阻在高低阻态间进行转换.最大的电阻变化率约为10 309.对I-V特性的分析,发现在高阻态时,有空间电荷限制电流机制(SCLC)和肖特基势垒导电机制存在.应用在高场区有非对称电子陷阱中心的空间电荷限制电流理论,解释了这种电阻开关现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏朝辉		1	4	1.0	1.0
2	张婷		1	4	1.0	1.0
3	王继鹏		1	4	1.0	1.0
4	张盈		1	4	1.0	1.0