AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究

• 作者: 万耿华 三隅伊知子 权太聪 谢鸿 金泰皓 黄强先 黑泽富藏
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉误差 光杠杆法 悬臂 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 217-223
• 页数: 7页
• 分类号: TH71|TH89
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2007.02.005

摘要

光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法.由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露.被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针-试样接近曲线中产生光干涉误差.基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法.实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差.