30.4 nm波长SiC/Mg多层膜反射镜

• 作者: 吴文娟 周洪军 张众 张淑敏 徐垚 朱京涛 李存霞 王占山 王蓓 王风丽 陈玲燕 霍同林
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 极紫外 多层膜 磁控溅射 同步辐射 太阳He-Ⅱ谱线
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 735-738
• 页数: 4页
• 分类号: O434|TB43
• 字数: 2313字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.04.032

摘要

波长30.4 nm的He～Ⅱ谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件.为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能.基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料.采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%.