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脉冲偏压对电弧离子镀非晶氧化钛薄膜性能的影响
脉冲偏压对电弧离子镀非晶氧化钛薄膜性能的影响
作者:
张敏
林国强
董闯
闻立时
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
非晶氧化钛薄膜
脉冲偏压
电弧离子镀
性能
摘要:
用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上制备均匀透明的氧化钛薄膜,通过改变脉冲偏压幅值,考察其对氧化钛薄膜性能的影响.结果表明,沉积态薄膜为非晶态;脉冲偏压对薄膜性能有明显的影响.随偏压的增加,薄膜厚度、硬度和弹性模量均先增大后减小,前者峰值出现在-100~200V负偏压范围,后两者则在-150~250V范围;-300V偏压时的薄膜硬度最高;达到原子级表面光滑度,RRMSs为0.113 nm,薄膜折射率也最高,在λn=550 nm达到已有报道的最高值2.51,此时薄膜具有最好的综合性能.文中对脉冲偏压对薄膜性能的影响机理也进行了分析.
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内容分析
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相关文献总数
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文献信息
篇名
脉冲偏压对电弧离子镀非晶氧化钛薄膜性能的影响
来源期刊
稀有金属材料与工程
学科
工学
关键词
非晶氧化钛薄膜
脉冲偏压
电弧离子镀
性能
年,卷(期)
2007,(11)
所属期刊栏目
材料科学
研究方向
页码范围
1909-1914
页数
6页
分类号
TG174
字数
5947字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1002-185x.2007.11.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
董闯
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
198
2023
23.0
34.0
2
林国强
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
59
562
13.0
21.0
3
张敏
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
44
405
11.0
19.0
4
闻立时
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
10
154
8.0
10.0
传播情况
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二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
非晶氧化钛薄膜
脉冲偏压
电弧离子镀
性能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属材料与工程
主办单位:
中国有色金属学会
中国材料研究学会
西北有色金属研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-185X
CN:
61-1154/TG
开本:
大16开
出版地:
西安市51号信箱
邮发代号:
52-172
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
12492
总下载数(次)
15
总被引数(次)
83844
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
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