等离子辅助电子束蒸发La2O3薄膜的制备

• 作者: 惠迎雪 杨陈 樊慧庆 焦岗成
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: La2O3薄膜 等离子辅助电子束蒸发 薄膜结构 I-V特性 透过率
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 928-930
• 页数: 3页
• 分类号: TB79|TB43
• 字数: 2574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185x.2007.z1.262

摘要

采用等离子辅助电子束蒸发,在Si(100)衬底上沉积La2O3薄膜.随后对非晶的沉积态薄膜在750℃和900℃分别退火1 h.实验结果表明,采用等离子辅助电子束蒸发,可以获得非晶态的La2O3薄膜;经750℃热处理后,薄膜部分晶化;经900℃热处理后,薄膜显著晶化,晶粒尺寸明显增大,并沿(002)方向择优取向.对薄膜I-V特性的测量结果表明,沉积态薄膜具有较小的漏电流,但随着热处理温度升高,薄膜晶化程度提高,薄膜漏电流逐渐增大;对薄膜透过率的测量结果表明,单面抛光的Si衬底上沉积La2O3薄膜,在近红外范围内有明显的增透效果,最大可达20%左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨陈	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	7	29	4.0	5.0
2	樊慧庆	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	47	239	10.0	13.0
3	惠迎雪	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	5	28	2.0	5.0
4	焦岗成	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	4	10	2.0	3.0