等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO2纳光子薄膜

• 作者: 刘富强 盛明裕 胡巧多 赵源 郑玉祥 陈良尧
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体辅助 电子束蒸发 纳光子薄膜
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 全国半导体物理学术会议邀请报告选编
• 页码范围: 237-241
• 分类号: O484.4
• 字数: 3234字
• 语种: 中文

摘要

SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅助功率)的变化规律,获得了薄膜的机械、化学和光学性能优于传统方法的纳光子薄膜工艺制备条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑玉祥	复旦大学光科学与工程系	23	104	6.0	9.0
2	陈良尧	复旦大学光科学与工程系	53	230	8.0	13.0
3	刘富强	上海商学院电子信息系	6	20	1.0	4.0
4	胡巧多	上海商学院电子信息系	9	57	4.0	7.0
5	盛明裕	复旦大学光科学与工程系	1	0	0.0	0.0
9	赵源	复旦大学光科学与工程系	1	0	0.0	0.0