电子束蒸发法制备ZrO2薄膜的相变模型分析

• 作者: 吴师岗
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ZrO2薄膜 相变模型 缺陷 X射线衍射 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1724-1726
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2152字
• 语种: 中文

摘要

用电子束蒸发方法制备了纯的ZrO2薄膜和含Y2O3摩尔分数为7%和13%的ZrO2薄膜,即YSZ薄膜,通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型;并用X射线衍射(XRD)来测定ZrO2和YSZ镀膜材料和薄膜的结构特征.结果表明: ZrO2镀膜材料和薄膜室温下都表现为单斜相,YSZ镀膜材料和薄膜室温下都以立方相存在;YSZ薄膜的损伤阈值远高于ZrO2薄膜的损伤阈值,这是因为添加Y2O3后的YSZ材料的相比较稳定,在蒸发过程中不会发生相变,而ZrO2材料则发生相变,产生缺陷,缺陷在激光作用下成为吸收中心和初始破坏点,导致ZrO2薄膜的损伤阈值降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴师岗	山东理工大学材料科学与工程学院	8	14	2.0	3.0