基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制

• 作者: 段辉高 白英良 韩立
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 微模塑 聚合物 PDMS 固化
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 35-36,40
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 1226字
• 语种: 中文

摘要

首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁.测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产.同时避免了刚性脱模带来的难题.根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	段辉高	兰州大学电子材料研究所	4	3	1.0	1.0
3	白英良	中国科学院电工研究所	3	1	1.0	1.0