浸没式阵列激光扫描直写光刻

• 作者: 徐端颐 范晓冬 蒋培军 齐国生
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 地球科学
• 关键词: 阵列激光扫描 浸没式镜头 直写光刻
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设备
• 页码范围: 1-9
• 页数: 9页
• 分类号: NT305.7
• 字数: 2832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.10.001

摘要

介绍一种以显微镜结构为基础的浸没式阵列激光扫描直写光刻系统的光路结构、有效焦深、自动调焦及曝光能量控制的原理和方法.实验系统的有效数值孔径(ENA)为1.83,使用的激光波长为355 mm时,在实验室条件下得到的最细线条宽度为65 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐端颐	清华大学精密仪器系	63	595	13.0	21.0
2	齐国生	清华大学精密仪器系	29	273	10.0	15.0
3	范晓冬	清华大学精密仪器系	3	5	1.0	2.0
4	蒋培军	清华大学精密仪器系	5	110	4.0	5.0