等离子体化学气相沉积法合成石英玻璃

• 作者: 孙元成 宋学富 王宏杰 钟海 顾真安
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 化学
• 关键词: 等离子火焰 化学气相沉积 石英玻璃
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 531-534
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171|O643
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2008.04.019

摘要

用高频等离子体作为热源,采用化学气相沉积法合成了石英玻璃样品.实验分别使用02和空气作为等离子体电离气体和冷却保护气体,改变等离子体电离工作气体种类时,等离子体火焰长度和石英玻璃沉积温度变化较大,而灯具冷却保护气体的改变对等离子火焰长度和石英玻璃沉积温度的影响不大.当等离子体电离气体和灯具保护气体均为O2时,等离子体火焰长度为12cm,石英基体温度为1 300℃,当等离子体电离气体和灯具保护气体均为空气时,等离子体火焰长度可达24cm,石英基体温度升高到l 840℃,可确保气相沉积过程进行,合成的石英玻璃在波长190nm处光透过率达84%,羟基含量3.5×10-6,可达到全光谱透过的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾真安		27	263	9.0	15.0
2	孙元成		10	30	3.0	5.0
3	王宏杰		3	22	1.0	3.0
4	宋学富	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	3	59	3.0	3.0
5	钟海		1	21	1.0	1.0