微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析

• 作者: 严垒 翁国峰 陶利平 马志斌
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体光谱 金刚石 基团 空间分布 甲烷浓度
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 49-52
• 分类号: TL65
• 字数: 2510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2012.06.012

摘要

采用等离子体光谱分析微波等离子体化学气相(MPCVD)沉积金刚石过程中基团的空间分布及甲烷浓度变化时基团浓度的变化情况.实验过程中分别测量了氢原子的Hα(656.19nm)、Hβ(486.71nm)和Hγ(434.56nm)谱线,以及基团CH(431.31nm)、C2(515.63nm)谱线.结果表明:氢原子和基团CH、C2的浓度沿等离子体柱的径向先增加再减小.随着甲烷浓度逐步增加,氢原子及基团CH、C2的浓度相应增加,其中C2基团所受影响最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
2	翁国峰	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	20	3.0	4.0
3	陶利平	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	3	14	2.0	3.0
4	严垒	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	5	22	3.0	4.0