磁镜场在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜制备装置中的应用

• 作者: 吴智量 彭军 徐伟 杜康 贺中信
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 磁镜场
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2009.03.009

摘要

在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场来更好地约束等离子体,使等离子体球成为"碟盘"状,提高了等离子体球的密度,在基本参数:反应压力2.5 kPa、基片温度450℃、气体流量为Ar:40sccm、CH4:4sccm、H2:60sccm不变的情况下,沉积面积直径由30 mm增长到50 mm,沉积速度由3.3 μm/h增长到3.8 μm/h,最大反射电流由15μA减小5 μA.从而大大减少了在石英管壁和观察窗的沉积,有效利用微波能量电离出更多的活性基团沉积出高质量的(类)金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴智量	广州大学物理与电子工程学院	22	64	5.0	7.0
2	徐伟	广州大学物理与电子工程学院	21	53	4.0	6.0
3	彭军	广州大学物理与电子工程学院	27	44	4.0	5.0
4	杜康	广州大学物理与电子工程学院	7	11	2.0	3.0
5	贺中信	广州大学物理与电子工程学院	6	11	2.0	3.0