关于衡量气相沉积快慢的思考

• 作者: 刘其军 刘正堂
• 来源期刊: 中山大学研究生学刊：自然科学与医学版
• 学科: 工学
• 关键词: 沉积速率 生长速率 薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 62-66
• 页数: 5页
• 分类号: TB34

摘要

在用气相沉积法制备薄膜时，为了表征薄膜沉积的快慢，定义了沉积速率。但是，由于实验条件的限制，沉积速率的计算大部分是通过测量的薄膜平均厚度除以沉积时间来获得，尽管在实际应用中并未遇到很大困难，但是由于沉积速率跟很多因素有关，有必要讨论跟沉积速率相关的参数，为今后进一步制备薄膜作一定铺按。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正堂	西北工业大学材料学院	120	749	14.0	21.0