热丝CVD法制备大面积金刚石厚膜

• 作者: 吴斌 汪建华 熊军 王传新 皮华滨 谢鹏 邢文娟
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石厚膜 质量 纯度
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 80-82
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2008.01.023

摘要

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备与工艺,在直径为90 mm的钨基体上,以丙酮为碳源,制备了(111)取向的大面积金刚石厚膜,厚膜平均厚度达到1.2 mm.用x-ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对金刚石厚膜的织构、形貌和成分进行了分析,结果表明所制备的金刚石厚膜质量很好且有较高纯度.