面向芯片封装的冗余驱动T型XY运动系统的研制

• 作者: 刘强 袁松梅 齐畅
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 冗余驱动 T型XY工作台 扫频测试 FFT
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 制造技术与装备
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TH69
• 字数: 2673字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2008.12.001

摘要

面向芯片封装设备对高速高精度的需求,提出了一种多直线电机冗余驱动的T型XY运动系统.T型XY工作台以单直线电机作为Y轴动力源,双直线电机作为X轴动力源,并配以高分辨率、高精度的位置检测元件和控制系统,共同组成T型运动系统.叠加式的机械结构设计使得工作台尺寸小、质量轻、刚度高;多电机的冗余驱动为系统提供了更大推力以提高设备的加速度.通过扫频试验,建立了系统的实验模型,在实验模型基础上设计了控制器并进行了实验研究.该运动系统目前实现了最大速度0.65m/s,最大加速度9.25g,及微米级定位精度的性能指标,能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘强	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	161	2234	23.0	39.0
2	袁松梅	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	43	538	12.0	22.0
3	齐畅	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	2	19	2.0	2.0