计量型原子力测头用于纳米台阶高度样板的测量

• 作者: 卢明臻 崔建军 杜华 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 台阶高度样板 阿贝误差 激光干涉仪 溯源
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 193-197
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 3095字
• 语种: 中文

摘要

为"大范围纳米结构测量系统"研制的计量型原子力测头,采用光束偏转法检测探针悬臂偏转.原子力测头的布置在X、Y方向无阿贝误差.在50mm×50mm×2mm的测量全程内,测头与样品的相对位移可以由激光干涉仪直接读数,因此可溯源到米定义国家基准.激光波长由Elden公式计算修正.使用德国物理技术研究院(FIB)提供的台阶高度样板一套,所得测量结果与PTB测量结果进行比对,结论为:测量系统的测量重复性不大于0.82 nm;比对系数En≤1,验证了测量结果是准确的,测量不确定度评定是合理、可信的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	崔建军		33	122	6.0	8.0
3	卢明臻	清华大学精密仪器与机械学系	16	97	6.0	8.0
5	杜华		33	201	8.0	12.0