腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜

• 作者: 刘佳宇 朱开宇 王文辕
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 中频脉冲溅射 绒面ZnO 透明导电膜 腐蚀 结构
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 205-208
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.004

摘要

利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜.对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀,可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜.分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池的绒面ZnO透明导电薄膜.当压力控制在1.92 Pa左右,衬底温度150～170℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率,电阻率可达5.57x10-4Ω·cm,载流子浓度2.2×1020cm-3,霍尔迁移率40.1 cm/V·s,在可见光范围平均透过率超过85%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文辕	河北理工大学信息学院	8	41	3.0	6.0
2	朱开宇	河北理工大学信息学院	7	47	3.0	6.0
3	刘佳宇	河北理工大学信息学院	7	40	3.0	6.0