基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜.对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀,可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜.分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池的绒面ZnO透明导电薄膜.当压力控制在1.92 Pa左右,衬底温度150~170℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率,电阻率可达5.57x10-4Ω·cm,载流子浓度2.2×1020cm-3,霍尔迁移率40.1 cm/V·s,在可见光范围平均透过率超过85%.
推荐文章
ZnO基紫外光透明导电薄膜的研究进展
MgxZn1-xO:Al薄膜
紫外光透明导电
宽禁带
结构和光电性能
溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电氧化物薄膜的研究进展
溶胶-凝胶法
氧化锌铝(ZAO)
透明导电氧化物薄膜(TCO)
绒面ZnO透明导电薄膜
孪生对靶
直流磁控溅射
ZnO
透明导电薄膜
绒面
射频溅射功率密度对Ga:ZnO透明导电薄膜性能的影响
透明导电薄膜
氧化锌
Urbach带尾
磁控溅射
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜
来源期刊 微纳电子技术 学科 工学
关键词 中频脉冲溅射 绒面ZnO 透明导电膜 腐蚀 结构
年,卷(期) 2008,(4) 所属期刊栏目 纳米材料与结构
研究方向 页码范围 205-208
页数 4页 分类号 TN304.055
字数 1719字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王文辕 河北理工大学信息学院 8 41 3.0 6.0
2 朱开宇 河北理工大学信息学院 7 47 3.0 6.0
3 刘佳宇 河北理工大学信息学院 7 40 3.0 6.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (2)
共引文献  (7)
参考文献  (2)
节点文献
引证文献  (3)
同被引文献  (8)
二级引证文献  (25)
1991(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2000(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2003(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2008(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2009(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2010(3)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(3)
2011(3)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(1)
2012(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
2013(5)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(5)
2014(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
2015(6)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(6)
2016(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2017(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
2018(3)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
中频脉冲溅射
绒面ZnO
透明导电膜
腐蚀
结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微纳电子技术
月刊
1671-4776
13-1314/TN
大16开
石家庄市179信箱46分箱
18-60
1964
chi
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
论文1v1指导