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腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜
腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜
作者:
刘佳宇
朱开宇
王文辕
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
中频脉冲溅射
绒面ZnO
透明导电膜
腐蚀
结构
摘要:
利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜.对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀,可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜.分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池的绒面ZnO透明导电薄膜.当压力控制在1.92 Pa左右,衬底温度150~170℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率,电阻率可达5.57x10-4Ω·cm,载流子浓度2.2×1020cm-3,霍尔迁移率40.1 cm/V·s,在可见光范围平均透过率超过85%.
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绒面ZnO透明导电薄膜
孪生对靶
直流磁控溅射
ZnO
透明导电薄膜
绒面
射频溅射功率密度对Ga:ZnO透明导电薄膜性能的影响
透明导电薄膜
氧化锌
Urbach带尾
磁控溅射
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜
来源期刊
微纳电子技术
学科
工学
关键词
中频脉冲溅射
绒面ZnO
透明导电膜
腐蚀
结构
年,卷(期)
2008,(4)
所属期刊栏目
纳米材料与结构
研究方向
页码范围
205-208
页数
4页
分类号
TN304.055
字数
1719字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.004
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王文辕
河北理工大学信息学院
8
41
3.0
6.0
2
朱开宇
河北理工大学信息学院
7
47
3.0
6.0
3
刘佳宇
河北理工大学信息学院
7
40
3.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(2)
共引文献
(7)
参考文献
(2)
节点文献
引证文献
(3)
同被引文献
(8)
二级引证文献
(25)
1991(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2003(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2008(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2009(1)
引证文献(1)
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2010(3)
引证文献(0)
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引证文献(2)
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二级引证文献(6)
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2017(2)
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二级引证文献(2)
2018(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
中频脉冲溅射
绒面ZnO
透明导电膜
腐蚀
结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微纳电子技术
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
开本:
大16开
出版地:
石家庄市179信箱46分箱
邮发代号:
18-60
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
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