掺杂ZnO薄膜的研究现状

• 作者: 吴小丽 张修兴 文军 潘峰 陈长乐
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: ZNO薄膜 P型掺杂 稀土掺杂 受激发光 稀磁半导体
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 274-279
• 页数: 6页
• 分类号: TN304

摘要

ZnO薄膜的性质取决于不同的掺杂元素和不同的制备工艺。概述了掺杂ZnO薄膜的研究现状，分析了不同掺杂组分对ZnO薄膜的P型转变特性、发光特性以及铁磁性质的影响，认为稀土掺杂可能使ZnO薄膜产生新的发光特性，共掺杂技术可能是实现ZnO薄膜特性改变的新途径。