Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响

• 作者: 吴兆丰 吴雪梅 徐庆岩 诸葛兰剑 陈学梅
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Cu掺杂 ZnO薄膜 电光学性质
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2174字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射方法在导电玻璃和石英衬底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂量的ZnO薄膜.XRD显示,适当的Cu掺杂增强了ZnO的(002)衍射峰的强度;用紫外分光光度计测量了样品的透光性,结果显示,随掺杂量的增加,其透光性减弱,但在Cu掺杂量为9.6%时其透光性还在60%以上.用四探针测量了样品的表面电阻率,薄膜的电阻率随Cu掺杂量的增加而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴雪梅	苏州大学物理科学与技术学院	10	47	4.0	6.0
5	诸葛兰剑	苏州大学分析测试中心	59	199	8.0	11.0
7	吴兆丰	苏州大学物理科学与技术学院	3	13	2.0	3.0
8	陈学梅	苏州大学物理科学与技术学院	2	3	1.0	1.0
12	徐庆岩	苏州大学物理科学与技术学院	1	2	1.0	1.0