两步合金法制作p-GaN高反电极

• 作者: 刘志强 梁萌 王国宏 王良臣 范曼宁 郭德博
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: p型GaN 欧姆接触 两步合金法 高反射电极
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 902-904
• 页数: 3页
• 分类号: TN312
• 字数: 2482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.07.012

摘要

利用两步合金法获得了能与p-GaN形成良好欧姆接触的高反射电极.电极的构成采用透明电极+高反射金属方案,厚的Ag层或Al层覆盖在合金后的Ni/Au上以提高电极的反射率,以Pt和Au作为覆盖层,可有效地防止Ag的氧化和团聚,短时间的热处理有助于Ag基电极反射率的提高.可靠性测试表明Ag基电极的稳定性较好,对于Al基电极,热处理后反射镜上出现暗斑,导致其反射率的下降.最终获得了波长在460nm处反射率为74%的Ag基高反射电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志强	中国科学院半导体研究所	280	3753	31.0	42.0
2	王国宏	中国科学院半导体研究所	41	1911	17.0	41.0
3	王良臣	中国科学院半导体研究所	31	192	8.0	13.0
4	梁萌	中国科学院半导体研究所	5	64	3.0	5.0
5	范曼宁	中国科学院半导体研究所	4	61	2.0	4.0
6	郭德博	中国科学院半导体研究所	5	66	3.0	5.0