振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺

• 作者: 刘益芳 孙道恒 王凌云
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺仪 隧道效应 DDSOG工艺 硅尖
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 439-442
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|V241.5
• 字数: 2471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.018

摘要

振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点.结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为1μm,齿厚和齿间距之间的距离为4μm,梁的厚度为50 μm,提出硅正面刻蚀-玻璃上电极制作-硅玻键合-硅背面减薄-硅背面刻蚀的DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺方案,成功实现了整个器件的工艺制备.本文就DDSOG工艺中的关键工艺进行了一一论述,该工艺不仅能用于隧道陀螺仪的制备,同时也可以制作其它高深宽比传感器或执行器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凌云	厦门大学机电工程系	32	191	7.0	12.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	刘益芳	厦门大学机电工程系	15	50	3.0	6.0