扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备

• 作者: 孙道恒 庄根煌 李文望 王凌云
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 交通运输
• 关键词: 隧道效应 陀螺仪 DDSOG 隧道传感器
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1415-1420
• 页数: 6页
• 分类号: U666.123|V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.037

摘要

介绍了一种利用隧道效应所具有的高位移敏感特性来获得较高灵敏度的微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备,该陀螺仪分别采用扇形梳齿驱动和面外振动悬臂梁的方式实现质量块的振动和恒隧道电流的检测.介绍了扇形梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计.由于采用了硅玻键合和深反应离子蚀刻(DRIE)的DDSOG体硅制备工艺,因而可获得较大的敏感质量块,从而使陀螺仪具有较高的灵敏度和较大的动态响应范围.根据检测模态和驱动模态匹配的原则,利用有限元模型对隧道陀螺仪的结构尺寸进行了优化,仿真结果表明,该陀螺仪在常压下的灵敏度为0.007 nm(°)/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文望	厦门大学机电工程系	12	125	6.0	11.0
2	王凌云	厦门大学机电工程系	32	191	7.0	12.0
3	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
4	庄根煌	厦门大学机电工程系	1	3	1.0	1.0