新型微机械隧道陀螺仪的设计和工艺制备

• 作者: 孙道恒 李文望 王凌云
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 隧道效应 陀螺 DDSOG 隧道传感器
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 528-531
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2009.04.016

摘要

介绍了一种新型微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备,该陀螺仪采用平行梳齿驱动和面外振动框架的方式分别作为质量块的振动和恒隧道电流的检测,对平行梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计进行了详细的阐述.由于采用了硅玻键合和DRIE的DDSOG体硅制备工艺,因而可以获得较大的敏感质量块,从而使得该陀螺仪具有较高的灵敏度.根据检测模态和驱动模态匹配的原则,利用有限元模型对隧道陀螺仪的结构尺寸进行了优化.仿真结果表明,该陀螺仪在常压下具有0.07 nm(°/s)的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文望	厦门大学物理与机电工程学院	12	125	6.0	11.0
2	王凌云	厦门大学物理与机电工程学院	32	191	7.0	12.0
3	孙道恒	厦门大学物理与机电工程学院	81	618	14.0	21.0