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摘要:
采用偏压增强热丝化学气相沉积法,以硼酸三甲酯为掺杂源,以WC-Co硬质合金刀具为衬底,制备了不同掺硼浓度的金刚石薄膜涂层刀具.通过采用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱及压痕测试对涂层刀具的表面形貌、薄膜质量和膜-基附着力进行了研究,分析了硼元素对薄膜质量和刀具性能的影响.研究结果表明:硼掺杂可以有效抑制刀具表层钴的扩散,改变金刚石薄膜的成分;掺硼金刚石薄膜的晶粒取向主要是{111},随着掺硼浓度的增加,金刚石薄膜的晶粒变小,平均晶粒尺寸从10 μm下降到2 μm;金刚石薄膜的拉曼光谱中心声子线随着掺硼浓度的增加向低频方向漂移,强度降低,且出现多晶石墨峰;涂层的膜-基附着力在硼碳摩尔比B/C=3×10-3时最佳.通过对碳化硅颗粒增强铝基复合材料的切削加工试验表明,在适当的掺硼浓度下金刚石薄膜涂层刀具的切削性能得到了显著改善.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 掺硼金刚石薄膜涂层刀具的制备及试验研究
来源期刊 上海交通大学学报 学科 工学
关键词 金刚石薄膜 附着力 硼掺杂 硬质合金
年,卷(期) 2008,(5) 所属期刊栏目 金属学与金属工艺
研究方向 页码范围 739-743
页数 5页 分类号 TG71
字数 3854字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1006-2467.2008.05.012
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 孙方宏 上海交通大学机械与动力工程学院 91 969 17.0 25.0
2 陈明 上海交通大学机械与动力工程学院 192 1907 22.0 35.0
3 张志明 上海交通大学机械与动力工程学院 46 553 15.0 21.0
4 姚成志 上海交通大学机械与动力工程学院 1 17 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石薄膜
附着力
硼掺杂
硬质合金
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海交通大学学报
月刊
1006-2467
31-1466/U
大16开
上海市华山路1954号
4-338
1956
chi
出版文献量(篇)
8303
总下载数(次)
20
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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