液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究

• 作者: 冯秋菊 孙晓娟 张红治 张贺秋 梁秀萍 田怡春 胡礼中
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 液相外延 微探尖 湿法刻蚀 扫描近场光学显微术
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 1490-1492
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.11.015

摘要

介绍一种用于扫描近场光学显微术(NSOM)传感头的GaAs微探尖的生长剥离技术.通过SiO2掩膜窗口,利用一次选择液相外延制备周期性阵列的GaA微探尖.在GaAs衬底与GaAs微探尖之间引入AlGaAs层,并对窗口大小的AlGaAs层进行选择腐蚀,将单个GaAs微探尖从GaAs衬底上剥离下来.扫描电子显微镜显示的结果表明,此微探尖具有金字塔结构、表面光滑凡转移过程无损伤.这种技术制备的GaAs微探尖的形貌与质量主要由晶体的结构决定,具有可重复,表面光滑、适合批量生产的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁秀萍	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	20	75	5.0	7.0
2	张贺秋	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	14	41	4.0	6.0
3	冯秋菊	辽宁师范大学物理与电子技术学院	8	8	2.0	2.0
4	张红治	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	13	3.0	3.0
5	孙晓娟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	13	3.0	3.0
6	田怡春	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	3	11	2.0	3.0