1064 nm激光脉冲致光学薄膜分层剥落损伤特性

• 作者: 李大伟 范正修 许程 赵元安 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 激光损伤 分层剥落 剥落阈值
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 764-767
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.05.027

摘要

研究了1064 nm激光辐照致光学薄膜分层剥落的损伤特性及其抑制手段.从光学薄膜的界面结构出发分析了温升在分层剥落产生过程中的作用,从理论上得出了剥落面积与辐照脉冲能量之间的关系式并通过实验进行验证,间接证明了分层剥落的成因;对分层剥落的抑制、改善方法进行了理论探讨与实验,证明亚阈值能量脉冲预辐照之后剥落面积明显减小,并且在一定范围内预辐照脉冲的能量密度越高相应的效果越明显,对作用机制给出了定性解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	赵元安	中国科学院上海光学精密机械研究所	47	315	11.0	15.0
4	李大伟	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	183	8.0	13.0
8	许程	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	26	2.0	2.0