毫秒激光致光学薄膜损伤阈值的测试与分析

• 作者: 倪晓武 刘剑 戴罡 秦渊 陆建
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 毫秒激光 激光损伤 损伤阈值 损伤机理
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 122-127
• 分类号: TN244
• 字数: 2712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2011.02.006

摘要

根据ISQ-11254分别测量了脉宽1 ms,波长1 064 nm激光作用下TiO2/SiO2高反膜、增透膜的损伤阈值,结合高分辨率CCD和光学显微镜观测了损伤形貌,分析了毫秒量级激光损伤光学薄膜的损伤机理.结果表明:脉宽1 ms激光作用下TiO2/SiO2增透膜的损伤阈值为高反膜的2.4倍,损伤区域为若干分离的损伤点,认为损伤是由膜层中含有的缺陷或杂质引起的.读数显微镜的结果显示,长脉冲激光作用下薄膜元件的损伤厚度为(180±5)μm.研究结果可供脉宽为ms量级的激光与光学薄膜相互作用的基础研究提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆建	南京理工大学理学院	172	1702	21.0	27.0
2	倪晓武	南京理工大学理学院	227	2204	23.0	31.0
3	秦渊	南京理工大学理学院	8	26	2.0	5.0
4	刘剑	南京理工大学理学院	8	55	4.0	7.0
5	戴罡	南京理工大学理学院	6	52	4.0	6.0