亚纳米精度长度溯源计量型动态模式原子力显微镜

• 作者: 三隅伊知子 権太聪 黄强先 黑澤富藏
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 长度溯源 激光干涉仪 动态模式原子力显微镜 纳米计量
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TH71|TH89
• 字数: 3882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2008.03.032

摘要

通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM).此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移.激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免系统的阿贝误差,使AFM具有极高的测量精度.除此之外,扫描过程中三轴激光干涉仪系统还用于工作台x,y方向位移的反馈控制,完全克服AFM中压电器件的缺陷对水平尺寸测量的影响.分析表明,在对纳米标准栅的平均栅距测量中,AFM系统达到亚纳米的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
5	権太聪		1	7	1.0	1.0
6	三隅伊知子		1	7	1.0	1.0
7	黑澤富藏		1	7	1.0	1.0