掺杂室沉积本征微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用

• 作者: 侯国付 孙建 孙福河 张德坤 张晓丹 李贵军 熊绍珍 王世峰 耿新华 赵颖 韩晓艳 魏长春
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 甚高频等离子体增强化学气相沉积 本征微晶硅 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 855-858
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 1246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.05.009

摘要

在掺杂P室采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,制备了不同硅烷浓度条件下的本征微晶硅薄膜.对薄膜电学特性和结构特性的测试结果分析表明:随硅烷浓度的增加,材料的光敏性先略微降低后提高,而晶化率的变化趋势与之相反;X射线衍射(XRD)测试表明材料具有(220)择优晶向.在P腔室中用VHF-PECVD方法制备单结微晶硅太阳能电池的i层和p层,其光电转换效率为4.7%,非晶硅/微晶硅叠层电池(底电池的p层和i层在P室沉积)的效率达8.5%.