快速退火对Pt/BST/Pt电容器结构和性能的影响

• 作者: 刘保亭 孙杰 彭英才 王玉强 范志东 郭哲
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: BST薄膜 快速退火 Pt/BST界面层 氧空位 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TM22
• 字数: 3096字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.12.012

摘要

采用脉冲激光沉积(PLD)法在Pt/Ti/SiO_2/Si(001)基片上制备了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜,对Pt/BST/Pt电容器在空气中进行400 ℃快速退火(RTA)处理,研究了快速退火对Pt/BST/Pt电容器的结构和性能的影响.结果表明:快速退火虽然对BST薄膜的结晶质量影响较小,但却极大改善了Pt/BST/Pt电容器的电学性能.当测试频率为100 kHz、直流偏压为0 V时,介电损耗从快速退火前的0.07减小到0.03,介电常数和调谐率略有增加.快速退火后负向漏电流过大现象得到了明显抑制,正负向漏电流趋于对称,在300×10~3 V/cm电场强度下,漏电流密度为4.83×10~(-5) A/cm~2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	孙杰	河北大学电子信息工程学院	8	16	3.0	3.0
3	彭英才	河北大学电子信息工程学院	103	593	12.0	19.0
4	王玉强	河北大学物理科学与技术学院	4	8	2.0	2.0
8	郭哲	河北大学物理科学与技术学院	4	10	1.0	3.0
9	范志东	河北大学电子信息工程学院	14	41	4.0	6.0