类金刚石膜的制备方法和性能

• 作者: 李雪
• 来源期刊: 重庆工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 制备方法 结构
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 化学·化工
• 页码范围: 165-171
• 页数: 7页
• 分类号: TB383.2
• 字数: 5431字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8425-B.2009.06.037

摘要

分析了类金刚石(DLC)膜的结构、性能及影响因素,对类金刚石膜的应用进行了阐述,并对DLC的几种制备方法,包括物理气相沉积法、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强化学气相沉积法进行了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李雪	绍兴文理学院物理与电子信息系	4	10	2.0	3.0