TiN/Ti复合膜与多层膜对Ti811合金高温摩擦性能及微动疲劳抗力的影响

• 作者: 刘道新 唐宾 张晓化 王小锋
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微动疲劳 摩擦磨损 TiN/Ti复合膜 多层膜 真空阴极电弧沉积 磁控溅射 钛合金 高温
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 311-318
• 页数: 8页
• 分类号: TG115
• 语种: 中文

摘要

在Ti811钛合金表面分别利用真空阴极电弧沉积技术和磁控溅射技术制备了TiN/Ti复合膜,利用磁控溅射技术制备了TiN/Ti多层膜,测试了膜层的剖面成分分布、膜基结合强度、膜层显微硬度和韧性,对比研究了不同结构膜层对钛合金基材摩擦学性能和高温微动疲劳抗力的影响.结果表明:TiN/Ti复合膜和多层膜均有效提高了钛合金表面的硬度和耐磨性能;电弧沉积TiN/Ti膜层对钛合金高温微动疲劳抗力的改善程度高于磁控溅射TiN/Ti膜层,原因归于电弧沉积TiN/Ti膜层强韧性好、结合强度高,且膜层中的钛颗粒有良好的减摩润滑作用;磁控溅射TiN/Ti多层膜对钛合金高温微动疲劳抗力的改善程度高于磁控溅射TiN/Ti复合膜层,原因是前者韧性高、减摩润滑作用显著.