射频磁控溅射制备SiO2防离子反馈膜工艺探讨

• 作者: 孙鹏凯
• 来源期刊: 长春大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 微通道板 二氧化硅 防离子反馈膜
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3907-B.2009.03.020

摘要

利用射频磁控溅射方法,在微通道板输入面上做出了性能满足使用要求的SiO2防离子反馈膜.对防离子反馈膜进行了理论分析,对所制备的SiO2防离子反馈膜进行了电子透过率测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙鹏凯	长春大学理学院	3	4	1.0	2.0