进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 王玲 陈永勤 马莉 魏秋平 龙航宇
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 进气方式 硬质合金 晶体形貌 织构
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 36-41,46
• 页数: 7页
• 分类号: TG115
• 字数: 4190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2009.06.006

摘要

采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜.采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究了反应气体的不同进气方式对金刚石薄膜的影响.结果表明,随着进气方式的改变,基体周围气氛的组成、密度和分布受到影响,金刚石薄膜的形核密度、表面形貌、生长织构均有明显的变化,所得金刚石晶粒的生长参数多为1.5<α<3,3~(1/2)/2<г<3~(1/2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
5	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
9	马莉	中南大学粉末冶金国家重点实验室	29	165	8.0	12.0
10	龙航宇	中南大学材料科学与工程学院	5	21	3.0	4.0
11	王玲	中南大学材料科学与工程学院	45	209	9.0	12.0
12	陈永勤	中南大学材料科学与工程学院	4	51	3.0	4.0