基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作

• 作者: 杉山进 李以贵
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 无痛化注射 微针阵列 移动LIGA
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.01.017

摘要

提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针阵列的微细加工工艺,即移动X光光刻在光刻胶上得到与LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图.再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微针阵列结构.为了解决空心微针阵列的加工问题,通过对准曝光实现空心孔的微细加工.用此纳米加工技术获得了高度为350～700 μm、针锋尖锐度为1 μm的PMMA的微针阵列.该阵列面积约为1 cm2,微针数约为900根.实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的实心微针、空心微针和带流体沟道的分叉微针等各种微针.该微针阵列可与微泵、微通道等集成为一体,实现无痛化注射或无痛化采血.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李以贵	上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	19	120	7.0	10.0