VLSI随机工艺变化下互连线建模与延迟分析

• 作者: Janet M. Wang 张瑛 王志功
• 来源期刊: 电路与系统学报
• 学科: 工学
• 关键词: 工艺变化 空间相关性 互连线 Elmore延迟 蒙特卡洛法
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 70-75
• 页数: 6页
• 分类号: TN47
• 字数: 4791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-0249.2009.05.013

摘要

目前互连线的工艺变化问题已成为影响超大规模集成电路性能的重要因素.考虑了互连线工艺变化的空间相关性,将工艺参数变化建模为具有自相关性的随机过程,采用数值仿真及拟合方法得到寄生参数的近似表达式,最后基于Elmore延迟度量分析了随机工艺变化对互连延迟的影响,提出了工艺变化下互连延迟统计特性的估算方法,并通过仿真实验对方法的有效性进行了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志功	东南大学射频与光电集成电路研究所	342	2153	20.0	29.0
2	张瑛	东南大学射频与光电集成电路研究所	15	133	6.0	11.0