Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌和光学性质

• 作者: 吕建国 孙兆奇 宋学萍
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: Al掺杂ZnO薄膜 粗糙度 光致发光 透射光谱
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

用原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪观察采用溶胶-凝胶法制备的Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌、透射光谱和光致发光谱.结果表明,Al掺杂量为0.5at 9/6的ZnO薄膜经550℃退火处理后,粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0at%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,粗糙度增大到4.625.样品在可见光范围内的平均透过率均大于80%.当激发波长为325 nm时,在397 nm(3.13 eV)附近出现紫外发光峰;当激发波长为360 nm时,在443 nm(2.80 eV)附近出现蓝色发光峰.探讨了样品的蓝光发光机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋学萍	安徽大学物理与材料科学学院	63	367	10.0	14.0
2	孙兆奇	安徽大学物理与材料科学学院	91	563	11.0	16.0
3	吕建国	安徽大学物理与材料科学学院	18	61	5.0	6.0