MEMS压印模板制作的刻蚀机理及尺寸控制方法

• 作者: 卢秉恒 杨连发 段玉岗 王权岱
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压印模板 湿法刻蚀 刻蚀速率模型 尺寸控制
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 90-94
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.01.019

摘要

为了提高基于湿法刻蚀压印模板制作工艺中刻蚀图形尺寸的控制精度,研究了玻璃湿法刻蚀的反应动力学过程,得到刻蚀剂中(HF)2为决定反应速率的主要活性成分的结论;结合实验建立了合理的刻蚀速率模型.采用不同氢氟酸浓度的刻蚀液进行了实验,实测刻蚀速率与理论计算数值的对比结果表明模型预测精度达到96%以上.基于该模型刻蚀深度确定刻蚀时间进行了压印模板制作的实验,制作了图形特征尺寸为15 μm、刻蚀深度为8 μm的压印模板.对模板图形的测量结果表明,通过该模型预测的尺寸误差仅为0.05 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	387	5973	36.0	56.0
2	杨连发	桂林电子科技大学机电工程学院	90	582	13.0	19.0
3	段玉岗	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	54	368	13.0	16.0
4	王权岱	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	12	83	6.0	9.0