单晶硅表面稀土复合纳米膜的制备与摩擦特性

• 作者: 亓永 周华 程先华
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 3-巯丙基三甲氧基硅烷 稀土 自组装纳米膜 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 210-214
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.1
• 语种: 中文

摘要

利用分子自组装技术,在单晶硅表面制备了稀土复合纳米自组装膜.运用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,使用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜表面典型元素的化学状态,并运用静-动摩擦系数测定仪评价了薄膜的摩擦磨损性能.研究结果表明:通过硅烷偶联剂3-巯丙基三甲氧基硅烷(MPTS)的磺酸基化学吸附功能,稀土元素可以成功组装到氧化后的硅烷化表面.当组装稀土复合膜后,基片表面的摩擦系数由无膜时的0.8降到了0.08,表明复合膜可以降低基片的摩擦系数,并且在较低载荷下具有较好的耐磨性能.