采用高分辨XRD确定Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结的应变状态

• 作者: 修向前 傅德颐 刘斌 周元俊 宋黎红 崔颖超 张彤 张曾 张荣 施毅 李弋 谢自力 郑有炓 韩平
• 来源期刊: 中国科学G辑
• 关键词: 高分辨X射线衍射 倒易空间图 应变 弛豫
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1623-1627
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

利用高分辨X射线衍射方法,分析了采用金属有机物汽相沉积生长的Al_xGa_(1-x)N/GaN薄膜的晶体结构和应变状态.通过(002)和(105)面的倒易空间映射,分析获得Al_xGa_(1-x)N外延层的应变程度,并且计算了不同Al组分的Al_xGa_(1-x)N在倒易空间图上的弛豫方向;同时利用Vegard原理,推导了在双轴应变下Al组分的计算方程式,得出完全应变情况下Al组分为30%,与卢瑟福背散射实验结果比较符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘斌		39	97	6.0	8.0
2	施毅		103	490	13.0	17.0
3	郑有炓		78	353	11.0	15.0
4	张荣		134	576	13.0	17.0
5	修向前		28	97	5.0	9.0
6	周元俊		2	1	1.0	1.0
7	韩平		22	92	6.0	9.0
8	张彤		12	24	3.0	4.0
9	谢自力		19	44	5.0	6.0
10	张曾		2	0	0.0	0.0
11	李弋		1	0	0.0	0.0
12	宋黎红		1	0	0.0	0.0
13	崔颖超		1	0	0.0	0.0
14	傅德颐		1	0	0.0	0.0