激光划切机中工件对准的图像定位方法

• 作者: 张云 潘乐 靳卫国 高航
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 定位 边缘提取 Hough变换 激光划切机
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: IC制造设备与工艺
• 页码范围: 39-42,49
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.01.008

摘要

针对激光划切机中对LTCC工件定位对准的高精度性要求,对于如何根据工件边角信息进行定位,提出了一种基于对比度增强、Canny双阈值边缘提取和Hough变换的定位方法.将这种图像检测方法应用于激光划切机,工件定位精度小于2μm,满足系统的要求.