透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管的研究进展

• 作者: 付国柱 王中健 王龙彦 荆海 马仙梅
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 透明非晶态氧化物半导体 薄膜晶体管 有源矩阵有机发光二极管 有源矩阵电泳显示器 集约化模型
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 210-216
• 页数: 7页
• 分类号: TN911.72
• 字数: 4705字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.02.011

摘要

透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管(TAOS-TFT)以其诸多优势受到研究人员的青睐,最近几年发展迅速.文章以传统薄膜晶体管做对照,详细介绍了TAOS-TFT的原理、结构和性能,总结出TAOS-TFT相对于Si基TFT具有制备温度低、均一性好、迁移率高、对可见光全透明和阈值电压低等5方面的优势,指出了TAOS-TFT在进一步实用化过程中所面临的几个重要问题,其中最为重要的是需要尽快建立自身的集约化物理模型.