溶液法氧化物薄膜晶体管的印刷制备

• 作者: 兰林锋 史沐杨 周尚雄 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪 徐苗 王磊 袁炜健 谢宇 钟云肖
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 溶液法 氧化物薄膜晶体管 印刷制备 前驱体 后处理
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 器件技术
• 页码范围: 443-454
• 页数: 12页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 6480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20173206.0443

摘要

溶液法印刷制备电子器件因具有绿色环保、低成本、流程简单、柔性好和适应性强等优良特性,受到世界各个国家的重视,尤其高性能薄膜晶体管是平板显示和消费电子行业的基石,更成为了研究的热点.本文综述了基于溶液法氧化物薄膜晶体管印刷制备的最新研究进展,详细讨论了印刷氧化物薄膜晶体管结构优化、半导体层材料、电极层材料和绝缘层材料以及相关前驱体选择等,指出了提升器件性能的关键,明确了器件后处理与稳定性的关系.最后,本文总结了氧化物薄膜晶体管在印刷制备和应用过程中存在的问题以及发展前景.