键合机劈刀滑移问题的分析

• 作者: 刘严庆 夏志伟 纪伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 引线键合 引线键合机 键合头 滑移 偏角
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 制造工艺与设备
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.96
• 字数: 2255字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.04.008

摘要

引线键合是半导体器件最主要的一种互连方法.介绍了引线键合机键合头的几种基本结构,并对比分析了不同结构对键合工艺产生的影响.