基于PLC的步进电机直接控制系统

• 作者: 万喜新 胡晓宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: PLC 步进电机 控制 反应离子刻蚀机
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 基础技术应用
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TM383.6
• 字数: 2709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.09.009

摘要

提出了一种简单实现PLC直接控制步进电机的方法,设计了直接控制步进电机系统的软硬件.并在反应离子刻蚀机中验证了该方法是可行的,工作可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓宇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	56	4.0	7.0
2	万喜新	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	15	2.0	3.0