pH值对溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响

• 作者: 刘凯 南瑞华 姜亚军 赵亮 赵小如 魏炳波
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 透明导电薄膜 氧化锌 铝掺杂
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 585-590,596
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 3890字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在普通载玻片上制备出c轴择优取向的ZnO: Al(ZAO)透明导电薄膜,研究了溶胶pH值对其结构、表面形貌、电学和光学性能的影响.结果表明:随着pH值的降低晶粒尺寸增大;当溶胶pH值从8.4降低到6.8时,薄膜的电阻率先降低而后略有升高,当pH值为7.2时其电阻率达到最小值2.6×10-3 Ω·cm,进一步分析表明,溶胶pH值的变化影响了薄膜晶界散射,而后者又使载流子迁移率发生了变化;薄膜的透光率在可见光部分随着pH值的降低而升高,而禁带宽度则从3.36 eV降到3.32 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏炳波	西北工业大学理学院	97	689	12.0	21.0
2	刘凯	西北工业大学理学院	20	135	6.0	11.0
3	赵亮	西北工业大学理学院	10	80	4.0	8.0
4	姜亚军	西北工业大学理学院	9	50	3.0	7.0
5	赵小如	西北工业大学理学院	8	67	5.0	8.0
6	南瑞华	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	2	32	1.0	2.0